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主な取扱製品
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ユーザー特注及び
試作品・完成品
半導体製造関連機器向け
ウエハー洗浄ウェットステーション, 冶具洗浄機, 石英管洗浄機, ドラフト, クリーンドラフト, クリーンベンチ, 各種耐酸容器
管工事向け
送・排気, 中和装置, ポンプ, ダクト, 設備工事, 配管工事
機械器具向け
機械加工(ＮＣルーター等）
, 装置改造, 装置設置
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バブルモニターの設定画面
| スーパーバブルモニターを既存プロセスに取り付けることにより、流体に発生した異常気泡を検知し、外部出力端子で装置を止めることもできます。 |
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