EL-FLOW® Select シリーズマスフローメータ/コントローラはPC-ポートがラボラトリー用ハウジングに 収納されたサーマルタイプ流量計です。調節弁はボディー直結型又は分離型があります。各種ガスの質量 流量計測・制御にご利用いただけます。流量レンジは下記になります。

● 最小レンジ 0,014‾0,7 mln/min ● 最大レンジ 8‾1670 ln/min

マスフローコントローラ用調節弁の設計コンセプトは他マスフローコントローラメーカーのそれとは異な り、モジュール構造で、ユーザーが再調整すること無しに現場で交換できる能力を備えています。標準バル ブはノーマルクローズでKV値が1.5までご利用できます。又、ノーマルオープンもご利用いただけます。 高圧(高差圧)への適用については、特許取得構造のユニークな調節弁がご利用いただけます。一次圧、二 次圧の変動、差圧の変動(40MPad)まで対応可能です。

適用例

● 分析計/環境機器
● 食品、化学、石油化学分野におけるガス流量のモニタリング
● ガス供給設備におけるガス消費量計測(除く取引用)
● ガスリーク検査、半導体分野、表面処理等

EL-FLOW® Base シリーズ・マスフローコントローラは標準的でしかもストレートフォワードな計器です。 一般的なガスへの用途では正確な計測と安定した制御を提供し、 特にOEM装置への設置等において大変 経済的なソリューションを提供しています。 計測レンジは0,2‾10 mln/minから1,4‾70 ln/min(空気相 当)で、アナログI/O信号、又はデジタルRS232とModbus-RTU通信が標準で装備されています。

用途

● 食品、医薬品、石油化学、化学や醸造分野におけるガスの計測と制御
● バーナー制御(溶接等)
● 表面処理 (CVD, coating, hardening)
● 太陽電池製造
● 分析計測器 特徴
● 正確なマスフロー計測及び制御
● すばらしい繰返し性と高速応答
● 実質上圧力/温度にたいして無関係
● 経済的ソリューション
● アナログI/O-信号: 0‾5 (10) Vdc or 0(4)‾20 mA
● RS232通信
● Modbus-RTU
● ユーザーによる制御特性変更可